MEMS- Lautsprecher sind Kleinstlautsprecher in Mikrosystemtechnik. Sie sind nur wenige Millimeter groß und werden in Hörgeräten, Ohrhörern, Datenbrillen und in Smart Wearables eingesetzt.
Dank der MEMS-Technik können MEMS-Lautsprecher zusammen mit einem Verstärker und Wandler als System in Board (SiB) oder System in Package ( SiP) gefertigt und auf einer integrierten Schaltung untergebracht werden. Was die technischen Werte betrifft, so decken MEMS-Lautsprecher den oberen Frequenzbereich zwischen 1 kHz und 16 kHz ab. Da die Eigenfrequenz der MEMS-Lautsprecher im Kilohertz-Bereich liegt, können hohe Frequenzen mit geringen Leistungen erzeugt werden. Allerdings ist der Klirrfaktor relativ hoch und kann durchaus zwischen 1 % und 2 % bei 1 kHz bei einem Schalldruck von 100 dBSPL betragen.
Für die Wiedergabe von tielen Frequenzen werden höhere Leistungen benötigt. Sie können dann wiedergegeben werden, wenn bei der Abstrahlung akustische Kurzschlüsse im Ohr verhindert werden. Dies kann durch Dichtungen erreicht werden. MEMS-Lautsprecher können Schalldrücke von über 95 dB abstrahlen.