Micro Energy Cells (MEC) sind Mikrobatterien oder Dünnschichtbatterien. Es sind kleine, wiederaufladbare Energiespeicher mit einer langen Lebensdauer, die in Kombination mit kleinen Mikroprozessoren in der Mikrosystemtechnik, in Smartcards, Funksensoren und im Energy Harvesting eingesetzt werden.
MEC- Zellen können in Dünnschichttechnik und als gedruckte Batterien hergestellt werden und haben je nach Nennkapazität Abmessungen von wenigen Millimetern bis zu einigen Zentimetern und eine Dicke, die weit unter 1 mm liegen kann.
Dünnschichtbatterien sind lagenweise aufgebaute Feststoffbatterien. Sie bestehen aus einem Siliziumsubstrat auf den ein Platin-Kollektor und eine Kathode aus Lithium-Kobaltoxid aufgebracht sind. Das Festelektrolyt ist aus Lithium- Phosphor-Oxynitrid (LiPON) und die darüber liegende Anode aus Lithium-Aluminium. Die einzelnen Lagen können mit chemischer Gasphasenabscheidung ( CVD) hergestellt werden.
Je nach Einsatzgebiet haben Mikrobatterien Nennkapazitäten von einigen Mikro- Amperestunden (µ Ah) bis zu wenigen Milli-Amperestunden (mAh). Sie zeichnen sich durch eine lange Lebensdauer aus und vertragen mehrere tausend Ladezyklen. Die Selbstentladung ist mit 1 % bis 2 % pro Jahr ebenfalls äußerst gering. Die Energie- und Leistungsdichte von Mikrobatterien liegt zwischen der von Batterien und Superkondensatoren.