Das Super Large Scale Integration (SLSI) ist eine Angabe über die Integrationsdichte von Chips.
Integrierte Schaltungen (IC) in SLSI-Technologie haben zwischen einer Million (10exp6) und zehn Million (10exp7) Transistoren pro Chip. Die SLSI-Technologie wurde in den 90er-Jahren realisiert. Die Strukturbreite liegt bei 0,25 µm.
In SLSI-Technologie werden Mikroprozessoren, Mikrocontroller und Programmable Interrupt Controller (PIC) ausgeführt.