Eine Source Measure Unit (SMU) ist eine Kombination aus einem Messgerät und einem präzisen Netzteil. Konventionelle Multimeter können Strom und Spannung einer Device under Test ( DUT) messen. Da bei Messungen mehrere Messgeräte mit unterschiedlichen Eigenschaften und Kennwerten angeschlossen sein können, sind konsistente, präzise Messungen nur eingeschränkt möglich.
Anders ist es mit einer Source Measure Unit (SMU), die mit präzisen Spannungs- und Stromversorgungen ausgestattet ist und damit das Testobjekt versorgen kann. Funktional besteht ein SMU-Gerät aus Labornetzteil mit zwei Versorgungseinheiten, einer geregelten Präzisions-Spannungs- und -Stromquelle. Messtechnisch erfüllt sie die Funktionen eines Digitalmultimeters für hochpräzise Strom- und Spannungsmessungen.
Je nach Testaufgabe wird die eine oder andere Versorgungsquelle benutzt. Wie andere Messgeräte auch, sind SMU-Units mit automatischer Bereichsumschaltung und Überstrom- und -spannungsschutz ausgestattet. Dank Guard-Technik können Ströme bis hinunter in den Femto- Ampere-Bereich gemessen werden.
Source Measure Units werden in Funktionstests und In-Circuit-Test eingesetzt. Des Weiteren in der Materialforschung, beim Test von Halbleiter-Bauelementen, Leistungshalbleitern und elektronischen Schaltkreisen.