front end of line (chip production) (FEOL)

Front-End-of-Line (FEOL) steht in der Halbleiterproduktion von Bauelementen für die Gesamtheit der Prozessschritte zur Herstellung von Transistoren und anderen Schaltungselementen. Die weiteren passiven Schaltungselemente wie Widerstände und Kondensatoren werden im folgenden Prozessschritt, dem Middle-of-Line hinzugefügt. Als letzter Prozessschrit steht Back-End-of-Line (BEOL) bei dem die Verdrahtung und die Kontakten elektrische verbunden werden.

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Deutsch:
Englisch: front end of line (chip production) - FEOL
Veröffentlicht: 04.01.2022
Wörter: 54
Tags: Chip-Technologien
Links: Front-End, Transistor, Widerstand, Kondensator, Back-End
Übersetzung: EN
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