Arsen (As) ist ein chemisches Element, das in der Halbleitertechnik für die Dotierung von Silizium oder Germanium benutzt wird.
Mit Arsen können n-dotierte Silizium- und Germaniumschichten hergestellt werden. Arsen wird durch Diffusion oder Ionenimplantation in die Halbleiter eingebracht. Darüber hinaus auch in III-V-Verbindungshalbleitern und in Kombination mit Gallium als Galliumarsenid ( GaAs) u.a. in Leuchtdioden, Fotodioden und Solarzellen eingesetzt.
Das chemische Element hat im Periodensystem die Ordnungszahl 33.